広島大学 大学院先端物質科学研究科 半導体集積科学専攻

研究内容


2010年度 研究テーマ

ナノ構造デバイス領域

集積化デバイス・プロセス領域

薄膜機能デバイス領域



2010年度研究室紹介PDF (File Size 1.5MB)









原子層制御CVDシステム



高密度プラズマ薄膜形成装置



高分解能光電子分光システム



リモートプラズマ支援表面反応装置