量子半導体工学研究室

私たちは未来社会を支える半導体デバイスとその作製プロセスに関する研究をしています。
電子工学を基礎とした独自技術の提案により、新たな価値の創出を目指しています。

1万度以上の超高温高密度の熱流を噴出する大気圧熱プラズマジェットを基軸に、
革新的なプラズマ技術の研究とそれに伴い達成することができる電子デバイス作製プロセスの新展開の研究を推進しています。

また、水によるメニスカス力を用いて薄い単結晶シリコン層をペットボトルに使われているペット基板に転写する技術を開発しました。
この技術により曲がる電子回路の作製に成功し、世界最高性能のフレキシブルMOSトランジスタやCMOSインバーター動作の取得を達成しています。

半導体を中心とした、新たな価値の創造、社会を支えるモノづくり、皆さんと一緒に未来を拓きましょう。