プロセス装置
- プラズマ化学気層堆積装置 x4 (ICP, CCP, リモートICP, マルチホローCCP）
- 真空蒸着装置 x2 (Al, Au)
- スクリーン印刷機
- スパッタリング装置
- 熱処理炉 x5 (汎用アニール炉、リン拡散炉、電極焼結炉、Si熱酸化炉、SiC熱酸化炉)
- 急速熱処理装置 x3 (熱プラズマジェット, マイクロ熱プラズマジェット, 赤外レーザ)
- 高圧水蒸気熱処理装置
- 超純水装置, 純水装置
- マスクアライナ
- スピンコータ 他
分析評価装置
- 走査型電子顕微鏡
- 走査型プローブ顕微鏡
- 光学顕微鏡
- 高速度カメラ
- ラマン散乱分光装置
- 分光光度計
- 分光エリプソメトリ
- 発光分光測定装置
- ライフタイム測定装置
- 半導体パラメータアナライザ
- パルスジェネレータ
- 低温プローバ 他