イベント
先進パワー半導体分科会 第9回講演会に参加、3件の発表を行います。

12月20日~21日 福岡国際会議場 ポスター発表 12月20日(火)16:30~17:45 博士学生 タイトル:光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤とした SiC ウエハの高速プラズマ処理時のリアルタイム温度測定 […]

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イベント
The 29th International Display Workshops(IDW’22)に参加、招待講演を行いました。

12月14日~16日 教授 東 清一郎  12月14日(水) FLX1-2 17:00~  【Invited】 “Single Crystalline Silicon CMOSFETs on Plastic and Th […]

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イベント
International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2022(ISSM2022)に参加、発表を行いました。

12月12日~13日 口頭発表 修士学生 タイトル: “Ultra-fast Etching of Photoresist by Reactive Atmospheric-pressure Micro-Thermal P […]

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イベント
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) で発表を行いました。

11月24日~25日 大阪府立国際会議場+オンライン ポスター発表 修士学生 タイトル:Generation of Reactive Atmospheric-Pressure Micro-Thermal-Plasma-J […]

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イベント
薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会で3件の発表を行いました。

11月17日~18日  龍谷大学 響都ホール+オンライン開催 口頭発表  博士学生 タイトル:Development of A Real-Time Temperature Measurement Technique fo […]

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イベント
2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2022)で発表を行います。

博士学生がSSDM2022で、タイトル:Development of a Real-Time Temperature Measurement Technique for SiC Wafer During Ultra-Ra […]

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イベント
応用物理学会で発表を行います。

9月20日~23日、 第83回応用物理学会秋季学術講演会@東北大学川内北キャンパスにて4件の発表を行います。

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学会発表
シリコン材料・デバイス研究会(SDM)で発表を行いました

修士学生がシリコン材料・デバイス研究会(SDM)で光学干渉非接触温度測定法(OICT)に関する発表を行いました。 至:高千穂ホール(宮崎市) SDM研究会:https://www.ieice.org/ken/progra […]

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イベント
新年度開始

2022年度の開始です。新4年生・新M1・新D1を迎え、ますます活性化します。 どんどん研究をしていきましょう。

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イベント
2021年度卒業式・修了式を行いました。

2021年度卒業式・修了式を行いました。サタケホールで記念撮影です。 皆さんおめでとうございます!

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