先進パワー半導体分科会 第9回講演会に参加、3件の発表を行います。
12月20日~21日 福岡国際会議場 ポスター発表 12月20日(火)16:30~17:45 博士学生 タイトル:光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤とした SiC ウエハの高速プラズマ処理時のリアルタイム温度測定 […]
The 29th International Display Workshops(IDW’22)に参加、招待講演を行いました。
12月14日~16日 教授 東 清一郎 12月14日(水) FLX1-2 17:00~ 【Invited】 “Single Crystalline Silicon CMOSFETs on Plastic and Th […]
International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2022(ISSM2022)に参加、発表を行いました。
12月12日~13日 口頭発表 修士学生 タイトル: “Ultra-fast Etching of Photoresist by Reactive Atmospheric-pressure Micro-Thermal P […]
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) で発表を行いました。
11月24日~25日 大阪府立国際会議場+オンライン ポスター発表 修士学生 タイトル:Generation of Reactive Atmospheric-Pressure Micro-Thermal-Plasma-J […]
薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会で3件の発表を行いました。
11月17日~18日 龍谷大学 響都ホール+オンライン開催 口頭発表 博士学生 タイトル:Development of A Real-Time Temperature Measurement Technique fo […]
2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2022)で発表を行います。
博士学生がSSDM2022で、タイトル:Development of a Real-Time Temperature Measurement Technique for SiC Wafer During Ultra-Ra […]
シリコン材料・デバイス研究会(SDM)で発表を行いました
修士学生がシリコン材料・デバイス研究会(SDM)で光学干渉非接触温度測定法(OICT)に関する発表を行いました。 至:高千穂ホール(宮崎市) SDM研究会:https://www.ieice.org/ken/progra […]