薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会で3件の発表を行いました。

11月17日～18日　　龍谷大学　響都ホール+オンライン開催

口頭発表　

博士学生　タイトル：Development of A Real-Time Temperature Measurement Technique for SiC Wafer During Rapid Plasma Processing Based on Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT)

ポスター発表　（2件）

修士学生　タイトル：OICT による通電加熱時における Si ウェハ内の 過渡的温度分布の３次元イメージング技術

修士学生　タイトル：反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの局所超高速エッチング