先進パワー半導体分科会　第9回講演会に参加、3件の発表を行います。

12月20日～21日　福岡国際会議場

ポスター発表

12月20日（火）16：30～17：45

博士学生　タイトル：光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤とした SiC ウエハの高速プラズマ処理時のリアルタイム温度測定技術の開発

12月21日（水）10：00～11：15

修士学生　タイトル：OICT による通電加熱時におけるシリコンウェハ内部の３次元温度イメージング技術

【招待講演】

12月21日（水）14：00～14：30

　教授　東　清一郎

光学干渉非接触温度測定法によるパワーデバイス内部における自己発熱温度分布の三次元イメージングとデバイス劣化過程の観測