先進パワー半導体分科会 第9回講演会に参加、3件の発表を行います。

12月20日~21日 福岡国際会議場

ポスター発表

12月20日(火)16:30~17:45

博士学生 タイトル:光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤とした SiC ウエハの高速プラズマ処理時のリアルタイム温度測定技術の開発

12月21日(水)10:00~11:15

修士学生 タイトル:OICT による通電加熱時におけるシリコンウェハ内部の3次元温度イメージング技術

【招待講演】

12月21日(水)14:00~14:30

 教授 東 清一郎

光学干渉非接触温度測定法によるパワーデバイス内部における自己発熱温度分布の三次元イメージングとデバイス劣化過程の観測