2023 Asia-Pacific Workshop on Advanced Semiconductor Devices (AWAD2023)に参加、発表を行います。
7月10日～11日 東京工業大学 ポスター発表 7月11日（火） P-31 13：05 - 14：05 博士学生 タイトル：Extraction of Organic/Semiconductor Interfacia […]
International Conference on Processing & Manufacturing of advanced Materials (THERMEC’2023)に参加、招待講演を行います。
7月2日～7日 ウイーン・オーストリア 教授 東 清一郎 2023年7月5日 15：40～ [Invited] Application of Atmospheric Pressure Thermal Plasma Je […]
シリコン材料・デバイス研究会（SDM）に参加、発表を行います。
4月21日～22日 口頭発表 修士学生 タイトル：プラズマプロセス中のウェハ温度の非接触測定に向けた計測システムの開発
第70回応用物理学会春季学術講演会に参加、2件の発表を行います。
3月15日～18日 上智大学 四谷キャンパス+オンライン 口頭発表 学部生 タイトル：光ファイバーによる光学干渉非接触温度測定(OICT)系の小型化とリアルタイム温度測定 修士学生 タイトル：反応性大気圧熱プラズマジェ […]
ISPlasma2023/IC-PLANTS2023に参加、基調講演を行います。
3月5日～9日 岐阜大学 教授 東 清一郎 2023年3月6日 12：00～12：40 ＜06aA03K＞ 【Keynote Lecture】 "Atmospheric Pressure Thermal Plasma […]
13th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics に参加、招待講演を行いました。
1月23日～24日 教授 東 清一郎 2023年1月24日（火） I-09 12：30-13：00 [Invited] "3-D Imaging of Temperature Variations in 4H-SiC S […]
先進パワー半導体分科会 第9回講演会に参加、3件の発表を行います。
12月20日～21日 福岡国際会議場 ポスター発表 12月20日（火）16：30～17：45 博士学生 タイトル：光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤とした SiC ウエハの高速プラズマ処理時のリアルタイム温度測定 […]
The 29th International Display Workshops（IDW’22）に参加、招待講演を行いました。
12月14日～16日 教授 東 清一郎 12月14日（水） FLX1-2 17：00～ 【Invited】 “Single Crystalline Silicon CMOSFETs on Plastic and Th […]
International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2022（ISSM2022）に参加、発表を行いました。
12月12日～13日 口頭発表 修士学生 タイトル: “Ultra-fast Etching of Photoresist by Reactive Atmospheric-pressure Micro-Thermal P […]