第70回応用物理学会春季学術講演会に参加、2件の発表を行います。

3月15日～18日　上智大学　四谷キャンパス+オンライン

口頭発表

学部生　

タイトル：光ファイバーによる光学干渉非接触温度測定(OICT)系の小型化とリアルタイム温度測定

修士学生

タイトル：反応性大気圧熱プラズマジェットを用いた急速熱処理と原子状酸素ラジカルの同時供給によるフォトレジストの超高速エッチング