ISPlasma2023/IC-PLANTS2023に参加、基調講演を行います。

3月5日～9日　　岐阜大学

教授　東　清一郎　2023年3月6日　12：00～12：40　＜06aA03K＞

【Keynote Lecture】

"Atmospheric Pressure Thermal Plasma Jet Technology for Semiconductor Device Manufacturing"