International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2024 （ISSM2024）に参加、発表を行います。
December 9-10 KFC Hall, Ryogoku,Tokyo 【口頭発表】 修士学生 “Investigation on the Relationship between Etching Rate and […]
薄膜材料デバイス研究会 第21回研究集会に参加、発表を行います。
2024年11月28日(木) ～ 11月29日（金） 龍谷大学成就館 【口頭発表】 修士学生 “反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングにお ける温度測定とエッチング特性に関する研究”
先進パワー半導体分科会 第11回講演会に参加、発表を行います。
2024年11月25日～11月26日 Gメッセ群馬 【ポスター発表】 修士学生 “n 型 4H-SiC におけるシリコンキャップアニールコンタクトの熱的安定性評価”
第85回応用物理学会秋季学術講演会に参加、発表を行います。
2024年9月16日～20日 朱鷺メッセほか2会場＆オンライン シンポジウム【招待講演】 教授 東 清一郎 “超急速熱処理におけるIV族半導体薄膜の結晶成長とデバイス応用” 【口頭講演】 修士学生 “反応性大気圧熱プラ […]
2024 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2024)に参加、発表を行います。
2024年9月1日～4日 Arcrea HIMEJI 【口頭発表】 博士学生 “Measurement of Temperature-Dependent Interfacial Thermal Resistance at […]
応用物理学会中国四国支部、日本物理学会中国支部・四国支部、日本物理教育学会中国四国支部 2024年度支部合同学術講演会に参加、発表を行います。
2024年7月28日（日） 徳島大学常三島キャンパス 【口頭発表】 修士学生 “反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジ ストの高速エッチングにおける温度測定とエッチン グレートに関する研究” “シリコンキャップ […]
有機エレクトロニクス研究会（OME）に参加、招待講演を行います
2024年4月20日（土）16:10-16:50 アマホームPLAZA（奄美市市民交流センター） 教授 東 清一郎 【招待講演】 “反応性大気圧熱プラズマジェットを用いた有機薄膜の超高速エッチング技術”
第71回応用物理学会春季学術講演会に参加、発表を行います。
2024年3月22日(金)～25日（月） 東京都市大学 世田谷キャンパス＆オンライン 【口頭講演】 ・修士学生 2024年3月22日（金） 奨励賞エントリー “光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたプラズマ照射 […]
4th China International Youth Conference on Electrical Engineering (CIYCEE2023)に参加、発表を行いました。
Chengdu Runbang International Hotel, China, Dec. 8-10, 2023 博士学生 “Interfacial Thermal Resistance Measurement a […]
44th International Symposium on Dry Process (DPS2023)に参加、発表を行いました。
Winc Aichi Nagoya, Japan, Nov. 21-22, 2023 修士学生 “Direct Measurement of silicon wafer surface temperature durin […]