第85回応用物理学会秋季学術講演会に参加、発表を行います。

2024年9月16日～20日　朱鷺メッセほか2会場＆オンライン

シンポジウム【招待講演】

教授　東　清一郎

“超急速熱処理におけるIV族半導体薄膜の結晶成長とデバイス応用”

【口頭講演】

修士学生　

“反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングにおける表面温度計測”

“高温下におけるシリコンキャップアニールコンタクトの長期安定性評価”

博士学生

“Observation of Baking Temperature Influence on Interfacial Thermal Resistance at Polymer/SiC Interface Using Optical-Interference Contactless Thermometry (OICT)”