応用物理学会中国四国支部、日本物理学会中国支部・四国支部、日本物理教育学会中国四国支部 2024年度支部合同学術講演会に参加、発表を行います。
2024年7月28日(日) 徳島大学常三島キャンパス
【口頭発表】
修士学生
“反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジ ストの高速エッチングにおける温度測定とエッチン グレートに関する研究”
“シリコンキャップアニールコンタクトの熱安定性評価”
2024年7月28日(日) 徳島大学常三島キャンパス
【口頭発表】
修士学生
“反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジ ストの高速エッチングにおける温度測定とエッチン グレートに関する研究”
“シリコンキャップアニールコンタクトの熱安定性評価”