薄膜材料デバイス研究会 第21回研究集会に参加、発表を行います。

2024年11月28日(木) ～ 11月29日（金）　龍谷大学成就館　

【口頭発表】

修士学生

“反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングにお ける温度測定とエッチング特性に関する研究”