第71回応用物理学会春季学術講演会に参加、発表を行います。

2024年3月22日(金)～25日（月）　 　東京都市大学 世田谷キャンパス＆オンライン

【口頭講演】

・修士学生

2024年3月22日（金）　奨励賞エントリー

“光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたプラズマ照射下でのシリコンウェハ表面温度のリアルタイム測定”

2024年3月25日（月）

“反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングと表面温度の関係性”

・博士学生

2024年3月23日（土）

“光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いた有機層/半導体界面の過渡熱伝導の測定”