The 22nd International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2025) に参加、発表をおこないます。
14-19 September, 2025 BEXCO, Busan, Korea 【ポスター発表】 修士学生 “Investigation on Thermal Stability for Silicon-cap-an […]
第86回応用物理学会秋季学術講演会に参加、発表を行います。
2025年9月7日～10日 名城大学 天白キャンパス＆オンライン 【口頭講演】 Yu Jiawen（特任助教） 【奨励賞エントリー】 “機械学習を用いた光学干渉非接触温度測定法の高性能化に関する研究” 修士学生 【奨励 […]
2025年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会に参加、発表を行います。
2025年7月26日（土） 岡山大学津島キャンパス 【口頭発表】 ・Jiawen Yu（特任助教） “光学干渉非接触温度測定法への機械学習導入に関する研究” ・修士学生 “シリコンウェハの面内温度分布測定に向けたファイ […]
The 7th Asia-Pacific Conference on Semiconducting Silicides and Related Materials, 2025 (APAC-SILICIDE 2025)に参加、発表を行います
July 19-21, 2025, Katahira Sakura Hall, Tohoku University 【ポスター発表】 修士学生 “Long-Term Stability of Ohmic Contacts […]
2025 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference (ICEP-IAAC 2025)に参加、発表を行います。
April 15 - 19, 2025 in Nagano, Japan “Baking Temperature Optimization for Reducing Interfacial Thermal Resista […]
第72回応用物理学会春季学術講演会に参加、発表を行います。
2025年3月14日（金）～17日（月） 東京理科大学 野田キャンパス＆オンライン 【口頭講演】 ・修士学生 “光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いた極低温環境下におけるシリコンウェハ表面温度のリアルタイム測定” […]
International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2024 （ISSM2024）に参加、発表を行います。
December 9-10 KFC Hall, Ryogoku,Tokyo 【口頭発表】 修士学生 “Investigation on the Relationship between Etching Rate and […]
薄膜材料デバイス研究会 第21回研究集会に参加、発表を行います。
2024年11月28日(木) ～ 11月29日（金） 龍谷大学成就館 【口頭発表】 修士学生 “反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングにお ける温度測定とエッチング特性に関する研究”
先進パワー半導体分科会 第11回講演会に参加、発表を行います。
2024年11月25日～11月26日 Gメッセ群馬 【ポスター発表】 修士学生 “n 型 4H-SiC におけるシリコンキャップアニールコンタクトの熱的安定性評価”
第85回応用物理学会秋季学術講演会に参加、発表を行います。
2024年9月16日～20日 朱鷺メッセほか2会場＆オンライン シンポジウム【招待講演】 教授 東 清一郎 “超急速熱処理におけるIV族半導体薄膜の結晶成長とデバイス応用” 【口頭講演】 修士学生 “反応性大気圧熱プラ […]