第72回応用物理学会春季学術講演会に参加、発表を行います。

2025年3月14日（金）～17日（月）　東京理科大学 野田キャンパス＆オンライン

【口頭講演】

・修士学生

“光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いた極低温環境下におけるシリコンウェハ表面温度のリアルタイム測定”

“n型4H-SiC上シリコンキャップアニールコンタクトに対する高温アニールの影響”

【奨励賞エントリー】

“反応性大気圧熱プラズマジェットによる熱処理したフォトレジストに対するエッチング特性とEBRプロセスへの適用”

・博士学生

【第46回論文奨励賞受賞記念講演】

“光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたSiCウェハの超急速熱処理時の3D温度分布のリアルタイム可視化”