第72回応用物理学会春季学術講演会に参加、発表を行います。
3月 6, 2025
2025年3月14日(金)~17日(月) 東京理科大学 野田キャンパス&オンライン 【口頭講演】 ・修士学生 “光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いた極低温環境下におけるシリコンウェハ表面温度のリアルタイム測定” […]
2025年3月14日(金)~17日(月) 東京理科大学 野田キャンパス&オンライン 【口頭講演】 ・修士学生 “光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いた極低温環境下におけるシリコンウェハ表面温度のリアルタイム測定” […]