先進パワー半導体分科会 第9回講演会に参加、3件の発表を行います。
12月 16, 2022
12月20日～21日 福岡国際会議場 ポスター発表 12月20日（火）16：30～17：45 博士学生 タイトル：光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤とした SiC ウエハの高速プラズマ処理時のリアルタイム温度測定 […]
The 29th International Display Workshops（IDW’22）に参加、招待講演を行いました。
12月 16, 2022
12月14日～16日 教授 東 清一郎 12月14日（水） FLX1-2 17：00～ 【Invited】 “Single Crystalline Silicon CMOSFETs on Plastic and Th […]
International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2022（ISSM2022）に参加、発表を行いました。
12月 16, 2022
12月12日～13日 口頭発表 修士学生 タイトル: “Ultra-fast Etching of Photoresist by Reactive Atmospheric-pressure Micro-Thermal P […]