先進パワー半導体分科会 第9回講演会に参加、3件の発表を行います。
12月 16, 2022
12月20日~21日 福岡国際会議場 ポスター発表 12月20日(火)16:30~17:45 博士学生 タイトル:光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤とした SiC ウエハの高速プラズマ処理時のリアルタイム温度測定 […]
The 29th International Display Workshops(IDW’22)に参加、招待講演を行いました。
12月 16, 2022
12月14日~16日 教授 東 清一郎 12月14日(水) FLX1-2 17:00~ 【Invited】 “Single Crystalline Silicon CMOSFETs on Plastic and Th […]
International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2022(ISSM2022)に参加、発表を行いました。
12月 16, 2022
12月12日~13日 口頭発表 修士学生 タイトル: “Ultra-fast Etching of Photoresist by Reactive Atmospheric-pressure Micro-Thermal P […]