International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2024 (ISSM2024)に参加、発表を行います。
11月 21, 2024
December 9-10 KFC Hall, Ryogoku,Tokyo 【口頭発表】 修士学生 “Investigation on the Relationship between Etching Rate and […]
薄膜材料デバイス研究会 第21回研究集会に参加、発表を行います。
11月 21, 2024
2024年11月28日(木) ~ 11月29日(金) 龍谷大学成就館 【口頭発表】 修士学生 “反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングにお ける温度測定とエッチング特性に関する研究”
先進パワー半導体分科会 第11回講演会に参加、発表を行います。
11月 21, 2024
2024年11月25日~11月26日 Gメッセ群馬 【ポスター発表】 修士学生 “n 型 4H-SiC におけるシリコンキャップアニールコンタクトの熱的安定性評価”