先進パワー半導体分科会　第12回講演会に参加、発表を行いました。

2025年11月19日～11月20日　富山国際会議場（富山市）

【ポスター発表】

花房　宏明（准教授）

“シリコンキャップアニールプロセスにおける脱水素処理の重要性：4H-SiC コンタクト特性への影響と Si 層の膨張”