第73回応用物理学会春季学術講演会に参加、発表を行います。

2026年3月15日(日)～18日（水）　 　東京科学大学 大岡山キャンパス＆オンライン

【口頭講演】

修士学生

“光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたシリコンウェハ表面温度のリアルタイム多点測定”

“シリコンキャップアニール電極を有するショットキーバリアダイオードの長期高温特性”

YU JIAWEN（特任助教）【奨励賞エントリー】

“機械学習を用いた光学干渉非接触温度測定法（OICT）による熱プラズマジェット照射熱処理中のSiCウェハのリアルタイム温度測定”