2023年度 応用物理・物理系学会中国四国支部 合同学術講演会に参加、4件の発表を行います。

2023年7月29日(土) 島根大学(松江キャンパス)

准教授 花房 宏明 

“マイクロチャンバ型pHセンサを用いたRHa-RCA法によるRNA増幅の検出”

博士学生 

タイトル:Development of an experimental method for extraction of organic/semiconductor interfacial thermal resistance based on optical-interference contactless thermometry (OICT)

修士学生 

タイトル:プラズマプロセス中のシリコンウェハ表面温 度のリアルタイム測定に向けたシステム開発

修士学生

タイトル:反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォ トレジストの超高速エッチングにおける酸素 流量と投入電力の効果