応用物理学会秋季学術講演会に参加、発表を行います。

2026年9月8日～11日　北海道大学　札幌キャンパス＆オンライン

【口頭講演】

・Jiawen Yu（特任助教）

“深層学習に基づく光学干渉非接触温度測定法（OICT）に向けたシリコンウェハ表面温度分布のリアルタイム測定に関する研究”

・修士学生

“反応性大気圧熱プラズマジェットを用いた4H-SiCエッチング”

“反応性大気圧熱プラズマジェット(R-TPJ)を用いたウエハ端部のフォトレジストエッチングに関する研究”　【奨励賞エントリー】

“反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたシリコンウェハ上SiO₂膜の超高速エッチング”

“光ファイバーバンドルを用いた光学干渉非接触温度測定法（OICT）システムにおけるファイバーバンドルの構成に関する検討”

“光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いたシリコンウェハのリアルタイム面内温度分布測定”

【シンポジウム口頭講演】

東　清一郎（教授）

“中四国VISTA教育の取組み”