第84回応用物理学会秋季学術講演会に参加、5件の発表を行いました。

9月19日～23日　熊本城ホールほか3会場

【口頭講演】

2023年9月21日（木）奨励賞エントリー

博士学生

“光学干渉非接触温度測定法（OICT）を基盤としたSU-8/SiCの界面熱抵抗測定技術を開発”

2023年9月22日（金）

修士学生

“反応性大気圧熱プラズマジェットを用いたフォトレジストの超高速エッチングと発光分光に関する検討”

2023年9月23日（土）　

修士学生

“光学干渉非接触温度測定法（OICT）を用いたプラズマプロセス中のシリコンウェハ表面温度のリアルタイム測定”

【ポスター講演】

2023年9月20日（水）、9月21日（水）

准教授　花房　宏明（2件）

“マイクロチャンバマトリックス型㏗センサを用いたRHa-RCA法によるRNA増幅の検出”

“シリコンキャップアニールを行った4H-SiCの深い準位の解析”