薄膜材料デバイス研究会に参加、発表を行いました。

2023年11月9日(木) ～ 10日（金）　龍谷大学　響都ホール（現地開催）/ネット配信

ポスターセッション1

修士学生

“光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いた容量結合型プラズマ中のシリコンウェハ表面温度 のリアルタイム測定”

ポスターセッション2

修士学生

“反応性大気圧プラズマジェットを用いたフォトレジストのミリ秒加熱と超高速エッチング特性の関係”