244th ECS Meetingに参加、招待講演を行います。
2023年10月8日~12日 Gothenburg, Sweden
2023年10月11日(水) 21:00~21:30
教授 東 清一郎
【Invited】 “Atmospheric-Pressure Reactive Thermal Plasma Jet Technology for Decarbonization of Semiconductor Manufacturing”
2023年10月8日~12日 Gothenburg, Sweden
2023年10月11日(水) 21:00~21:30
教授 東 清一郎
【Invited】 “Atmospheric-Pressure Reactive Thermal Plasma Jet Technology for Decarbonization of Semiconductor Manufacturing”