薄膜材料デバイス研究会 第23回研究集会に参加、発表を行いました。

2026年11月5日(木) ~ 11月6日(金) 龍谷大学 成就館

オーラルセッション

Yu Jiawen(特任助教)

“光学干渉非接触温度測定法を用いたウエハ面内温度分布の再構成に向けた深層ニューラルネットワークの開発”