薄膜材料デバイス研究会に参加、発表を行いました。
2023年11月9日(木) ～ 10日（金） 龍谷大学 響都ホール（現地開催）/ネット配信 ポスターセッション1 修士学生 “光学干渉非接触温度測定法(OICT)を用いた容量結合型プラズマ中のシリコンウェハ表面温度 のリ […]
244th ECS Meetingに参加、招待講演を行います。
2023年10月8日～12日 Gothenburg, Sweden 2023年10月11日（水） 21：00～21：30 教授 東 清一郎 【Invited】 “Atmospheric-Pressure Reactive […]
33rd International Symposium on Transport Phenomena (ISTP-33)に参加、発表を行いました。
2023年9月24～27日 熊本城ホール 9月25日（月） 博士学生 “MEASUREMENT OF TRANSIENT HEAT TRANSFER ACROSS ORGANIC/SEMICONDUCTOR INTERF […]
第84回応用物理学会秋季学術講演会に参加、5件の発表を行いました。
9月19日～23日 熊本城ホールほか3会場 【口頭講演】 2023年9月21日（木）奨励賞エントリー 博士学生 “光学干渉非接触温度測定法（OICT）を基盤としたSU-8/SiCの界面熱抵抗測定技術を開発” 2023年9 […]
SSDM2023に参加、発表を行いました。
2023年9月5日～8日 名古屋国際会議場 2023年9月6日（水）16：45～17：00 博士学生 "Measurement of Heat Dissipation between SiC and Thermal In […]
2023年度 応用物理・物理系学会中国四国支部 合同学術講演会に参加、4件の発表を行います。
2023年7月29日（土） 島根大学（松江キャンパス） 准教授 花房 宏明 “マイクロチャンバ型pHセンサを用いたRHa-RCA法によるRNA増幅の検出” 博士学生 タイトル：Development of an ex […]
2023 Asia-Pacific Workshop on Advanced Semiconductor Devices (AWAD2023)に参加、発表を行います。
7月10日～11日 東京工業大学 ポスター発表 7月11日（火） P-31 13：05 - 14：05 博士学生 タイトル：Extraction of Organic/Semiconductor Interfacia […]
International Conference on Processing & Manufacturing of advanced Materials (THERMEC’2023)に参加、招待講演を行います。
7月2日～7日 ウイーン・オーストリア 教授 東 清一郎 2023年7月5日 15：40～ [Invited] Application of Atmospheric Pressure Thermal Plasma Je […]
シリコン材料・デバイス研究会（SDM）に参加、発表を行います。
4月21日～22日 口頭発表 修士学生 タイトル：プラズマプロセス中のウェハ温度の非接触測定に向けた計測システムの開発
第70回応用物理学会春季学術講演会に参加、2件の発表を行います。
3月15日～18日 上智大学 四谷キャンパス+オンライン 口頭発表 学部生 タイトル：光ファイバーによる光学干渉非接触温度測定(OICT)系の小型化とリアルタイム温度測定 修士学生 タイトル：反応性大気圧熱プラズマジェ […]