ISPlasma2023/IC-PLANTS2023に参加、基調講演を行います。
3月5日～9日 岐阜大学 教授 東 清一郎 2023年3月6日 12：00～12：40 ＜06aA03K＞ 【Keynote Lecture】 "Atmospheric Pressure Thermal Plasma […]
13th International Workshop on New Group IV Semiconductor Nanoelectronics に参加、招待講演を行いました。
1月23日～24日 教授 東 清一郎 2023年1月24日（火） I-09 12：30-13：00 [Invited] "3-D Imaging of Temperature Variations in 4H-SiC S […]
先進パワー半導体分科会 第9回講演会に参加、3件の発表を行います。
12月20日～21日 福岡国際会議場 ポスター発表 12月20日（火）16：30～17：45 博士学生 タイトル：光学干渉非接触温度測定法(OICT)を基盤とした SiC ウエハの高速プラズマ処理時のリアルタイム温度測定 […]
The 29th International Display Workshops（IDW’22）に参加、招待講演を行いました。
12月14日～16日 教授 東 清一郎 12月14日（水） FLX1-2 17：00～ 【Invited】 “Single Crystalline Silicon CMOSFETs on Plastic and Th […]
International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2022（ISSM2022）に参加、発表を行いました。
12月12日～13日 口頭発表 修士学生 タイトル: “Ultra-fast Etching of Photoresist by Reactive Atmospheric-pressure Micro-Thermal P […]
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) で発表を行いました。
11月24日～25日 大阪府立国際会議場+オンライン ポスター発表 修士学生 タイトル：Generation of Reactive Atmospheric-Pressure Micro-Thermal-Plasma-J […]
薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会で3件の発表を行いました。
11月17日～18日 龍谷大学 響都ホール+オンライン開催 口頭発表 博士学生 タイトル：Development of A Real-Time Temperature Measurement Technique fo […]
2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2022)で発表を行います。
博士学生がSSDM2022で、タイトル：Development of a Real-Time Temperature Measurement Technique for SiC Wafer During Ultra-Ra […]