International Symposium on Semiconductor Manufacturing 2022（ISSM2022）に参加、発表を行いました。
12月 16, 2022
12月12日～13日 口頭発表 修士学生 タイトル: “Ultra-fast Etching of Photoresist by Reactive Atmospheric-pressure Micro-Thermal P […]
43rd International Symposium on Dry Process (DPS2022) で発表を行いました。
11月 25, 2022
11月24日～25日 大阪府立国際会議場+オンライン ポスター発表 修士学生 タイトル：Generation of Reactive Atmospheric-Pressure Micro-Thermal-Plasma-J […]
薄膜材料デバイス研究会 第19回研究集会で3件の発表を行いました。
11月 25, 2022
11月17日～18日 龍谷大学 響都ホール+オンライン開催 口頭発表 博士学生 タイトル：Development of A Real-Time Temperature Measurement Technique fo […]
2022 International Conference on Solid State Devices and Materials (SSDM2022)で発表を行います。
9月 13, 2022
博士学生がSSDM2022で、タイトル：Development of a Real-Time Temperature Measurement Technique for SiC Wafer During Ultra-Ra […]
